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微型
壓力傳感器的原理和應(yīng)用
壓力傳感器是我們生活中使用的比較多的一種用于測量壓力的設(shè)備，該設(shè)備通常由壓力敏感元件和信號處理單元組成，并按照一定的規(guī)律可以將壓力信號傳輸出去，根據(jù)不同的測量情況，可以分為很多種類的壓力傳感器，其中微型壓力傳感器的應(yīng)用比較廣泛，因為它的體積小，可以進入很多地方，那么您知道微型壓力傳感器的原理是什么嗎？微型壓力傳感器應(yīng)用在哪些地方？下面隨比利科技小編一起來了解一下吧
微型壓力傳感器的原理：
目前的微型壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器，兩者都是在硅片上生成的微機械電子傳感器。
硅壓阻式壓力傳感器是采用高精密半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成電橋作為力電變換測量電路的，具有較高的測量精度、較低的功耗和極低的成本。電橋的壓阻式傳感器，如無壓力變化，其輸出為零，幾乎不耗電。
微型硅壓阻式壓力傳感器采用周邊固定的圓形應(yīng)力杯硅薄膜內(nèi)壁，采用微型技術(shù)直接將四個高精密半導(dǎo)體應(yīng)變片刻制在其表面應(yīng)力更大處，組成惠斯頓測量電橋，作為力電變換測量電路，將壓力這個物理量直接變換成電量，其測量精度能達0.01-0.03%FS。
電容式壓力傳感器利用微型技術(shù)在硅片上制造出橫隔柵狀，上下二根橫隔柵成為一組電容式壓力傳感器，上橫隔柵受壓力作用向下位移，改變了上下二根橫隔柵的間距，也就改變了板間電容量的大小，即△壓力=△電容量。
微型壓力傳感器的應(yīng)用：
微型壓力傳感器可以用類似集成電路的設(shè)計技術(shù)和制造工藝，進行高精度、低成本的大批量生產(chǎn)，從而為消費電子和工業(yè)過程控制產(chǎn)品用低廉的成本大量使用微型壓力傳感器打開方便之門，使壓力控制變得簡單、易用和智能化。
傳統(tǒng)的機械量壓力傳感器是基于金屬彈性體受力變形，由機械量彈性變形到電量轉(zhuǎn)換輸出，因此它不可能如微型壓力傳感器那樣，像集成電路那么微小，而且成本也遠遠高于微型壓力傳感器。相對于傳統(tǒng)的機械量傳感器，微型壓力傳感器的尺寸更小，不超過一厘米，相對于傳統(tǒng)“機械”制造技術(shù)，其性價比大幅度提高。
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